发明公开
- 专利标题: 曝光方法和曝光装置
- 专利标题(英): Exposure method and exposure device
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申请号: CN201710704377.9申请日: 2017-08-16
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公开(公告)号: CN107300836A公开(公告)日: 2017-10-27
- 发明人: 邓金全
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 郝传鑫; 熊永强
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G03F7/00 ; G03F1/00
摘要:
本发明提供了一种曝光方法,用于对基板上的光阻进行曝光,形成具有段差的层结构,所述曝光方法包括:提供光源、滤光光罩和n个滤光片;其中,所述滤光光罩上设有不透光区和滤光区,所述滤光区用于透过至少两种光线;每个所述滤光片用于透过一种光线,n个所述滤光片透过的光线种类各不相同,n大于或等于2;使用所述光源依次照射n个所述滤光片,并依次采用n个所述滤光片透过的光线,通过所述滤光光罩对所述光阻进行n次曝光。本发明还提供了一种曝光装置。发明的方案能够使膜厚控制变得精细化,有利于减少膜厚误差,便于曝光工艺的调试,增大了工艺窗口,提高量产良率。
公开/授权文献
- CN107300836B 曝光方法和曝光装置 公开/授权日:2020-03-10
IPC分类: