曝光方法和曝光装置
摘要:
本发明提供了一种曝光方法,用于对基板上的光阻进行曝光,形成具有段差的层结构,所述曝光方法包括:提供光源、滤光光罩和n个滤光片;其中,所述滤光光罩上设有不透光区和滤光区,所述滤光区用于透过至少两种光线;每个所述滤光片用于透过一种光线,n个所述滤光片透过的光线种类各不相同,n大于或等于2;使用所述光源依次照射n个所述滤光片,并依次采用n个所述滤光片透过的光线,通过所述滤光光罩对所述光阻进行n次曝光。本发明还提供了一种曝光装置。发明的方案能够使膜厚控制变得精细化,有利于减少膜厚误差,便于曝光工艺的调试,增大了工艺窗口,提高量产良率。
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