发明授权
- 专利标题: 一种半导体器件及其制备方法和电子装置
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申请号: CN201610255203.4申请日: 2016-04-22
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公开(公告)号: CN107305899B公开(公告)日: 2020-02-11
- 发明人: 王伟 , 郑超
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 高伟; 冯永贞
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明涉及一种半导体器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括:提供晶圆,在所述晶圆上形成有若干相互间隔的图像传感器器件;在所述晶圆和所述图像传感器器件的上方隔离地形成涂覆支撑结构,以在所述涂覆支撑结构与所述晶圆之间形成隔离空间,并且所述涂覆支撑结构中形成有孔结构;在所述涂覆支撑结构上涂覆干燥固化胶并填充所述孔结构;在所述孔结构的上方通过空气喷枪将所述孔结构中的所述干燥固化胶喷射至所述晶圆上,以形成环绕所述图像传感器器件的保护环。所述方法避免了所述涂覆支撑结构(例如金属滤网)与所述晶圆和所述图形传感器器件直接接触,避免了工艺过程造成晶圆表面缺陷的问题,使CMOS图像传感器的性能和良率进一步提高。
公开/授权文献
- CN107305899A 一种半导体器件及其制备方法和电子装置 公开/授权日:2017-10-31
IPC分类: