发明公开
- 专利标题: 一种阵列基板及其制备方法、显示面板
- 专利标题(英): Array substrate, preparation method of array substrate, and display panel
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申请号: CN201710662048.2申请日: 2017-08-04
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公开(公告)号: CN107369693A公开(公告)日: 2017-11-21
- 发明人: 刘军 , 李伟 , 周斌 , 苏同上 , 方金钢 , 张扬
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 郭润湘
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L27/32 ; H01L29/786 ; H01L21/77
摘要:
本发明涉及显示技术领域,公开了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,阵列基板包括衬底基板和多个薄膜晶体管开关,每一个薄膜晶体管开关包括:形成于衬底基板的遮光块,遮光块形成有开口方向背离衬底基板的第一凹槽;形成于遮光块背离衬底基板一侧的缓冲层,缓冲层与第一凹槽对应的部位形成第二凹槽;形成于第二凹槽内的沟道层;形成于沟道层背离衬底基板一侧的栅绝缘层、栅极、层间绝缘层、源漏电极以及钝化层。上述结构采用非金属材料制备遮挡块,避免出现双TFT效应,且利用第一凹槽两侧凸起遮挡非薄膜晶体管开关区域的光线,可提高薄膜晶体管开关的稳定性。
公开/授权文献
- CN107369693B 一种阵列基板及其制备方法、显示面板 公开/授权日:2020-04-21
IPC分类: