发明授权
- 专利标题: 一种LED外延生长方法
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申请号: CN201710681976.3申请日: 2017-08-10
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公开(公告)号: CN107394018B公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 徐平
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 代理机构: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所
- 代理商 于淼
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/02 ; H01L33/06 ; H01L33/14 ; H01L33/32 ; C30B25/02 ; C30B29/40
摘要:
本发明提供了一种LED外延生长方法,该方法通过在生长多量子阱层后先生长一层掺杂Zn的InGaN:Zn结构层,阻挡电子向p型GaN迁移,避免大量电子从多量子阱层泄漏出至P型层,从而提高多量子阱层的电子浓度;然后通过生长高掺杂Mg浓度的AlGaN:Mg薄垒层,来提供高的空穴浓度,并有效推动空穴注入多量子阱层,增加多量子阱层的电子空穴对数量。另外,利用AlGaN与InGaN的晶格不匹配,在InGaN:Zn结构层与AlGaN:Mg薄垒层的界面处产生二维空穴气,借助二维空穴气,提高空穴横向扩展效率,进一步提高多量子阱层的空穴注入水平,降低LED的工作电压,提高LED的发光效率。
公开/授权文献
- CN107394018A 一种LED外延生长方法 公开/授权日:2017-11-24
IPC分类: