一种LED外延生长方法
摘要:
本发明提供了一种LED外延生长方法,该方法通过在生长多量子阱层后先生长一层掺杂Zn的InGaN:Zn结构层,阻挡电子向p型GaN迁移,避免大量电子从多量子阱层泄漏出至P型层,从而提高多量子阱层的电子浓度;然后通过生长高掺杂Mg浓度的AlGaN:Mg薄垒层,来提供高的空穴浓度,并有效推动空穴注入多量子阱层,增加多量子阱层的电子空穴对数量。另外,利用AlGaN与InGaN的晶格不匹配,在InGaN:Zn结构层与AlGaN:Mg薄垒层的界面处产生二维空穴气,借助二维空穴气,提高空穴横向扩展效率,进一步提高多量子阱层的空穴注入水平,降低LED的工作电压,提高LED的发光效率。
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