光学传感器设备和用于制造光学传感器设备的方法
摘要:
本发明公开光学传感器设备和用于制造光学传感器设备的方法。示出一种光学传感器设备,其包括用以将电磁信号转换成光生电荷载流子的转换区。光学传感器设备包括配置成读出光生电荷载流子的读出节点和通过隔离材料与转换区分离的控制电极。此外,光学传感器设备包括控制电极与转换区之间的半导体衬底中的掺杂区,其中掺杂区包括相比于转换区的最小掺杂浓度更高的掺杂浓度,其中掺杂浓度是转换区的最小掺杂浓度的至少1000倍,并且其中掺杂区延伸到半导体衬底中。此外,控制电极朝向转换区的投影与掺杂区重叠或位于掺杂区中。实施例将光学传感器设备示出为飞行时间传感器。
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