发明公开
- 专利标题: 激光清洗头
- 专利标题(英): Laser cleaning head
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申请号: CN201710716390.6申请日: 2017-08-18
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公开(公告)号: CN107442521A公开(公告)日: 2017-12-08
- 发明人: 张志研 , 林学春 , 梁浩 , 王奕博 , 刘燕楠 , 马文浩
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: B08B7/00
- IPC分类号: B08B7/00 ; G02B27/09
摘要:
一种激光清洗头,包括:脉冲激光源,用于输出脉冲激光光束;传能光纤,其一端与脉冲激光源连接,用于传输脉冲激光光束;准直器,与传能光纤的另一端连接,用于准直脉冲激光光束;反射镜,用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。本发明通过采用传能光纤和反射镜,使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面,因此,激光清洗头的结构简单,操作便捷。反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜,在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形,可使得射出的光束为高功率矩形光束,从而射到清洗物件表面的光束为线光束,形成线斑面,因此清洗范围大,且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙,提高了整体的清洗效果。
公开/授权文献
- CN107442521B 激光清洗头 公开/授权日:2021-01-29