发明公开
- 专利标题: 一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极及其制备方法
- 专利标题(英): Copper indium gallium diselenide thin film solar cell back electrode and preparation method thereof
-
申请号: CN201710702156.8申请日: 2017-08-16
-
公开(公告)号: CN107452818A公开(公告)日: 2017-12-08
- 发明人: 夏申江 , 车兆华 , 周建民 , 黄海青 , 屠友明
- 申请人: 蚌埠兴科玻璃有限公司 , 中建材光电装备(太仓)有限公司 , 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市高新区中粮大道2011号
- 专利权人: 蚌埠兴科玻璃有限公司,中建材光电装备(太仓)有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 蚌埠兴科玻璃有限公司,中建材光电装备(太仓)有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市高新区中粮大道2011号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 陈俊
- 主分类号: H01L31/0224
- IPC分类号: H01L31/0224 ; H01L31/0749
摘要:
本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极,包括由下至上依次设置的衬底、金属导电层、阻挡层、Na合金层与外保护导电层;所述阻挡层为过渡金属氮化物或氮氧化物;所述Na合金层由Na与另一种合金元素构成,Na合金层中的Na含量为2~10%摩尔比;Na合金层厚度为20~50nm;采用磁控溅射在衬底上依次沉积各个结构层即完成制备;Na合金层作为Na扩散源,为铜铟镓硒光吸收层提供晶体生长需要的Na,阻挡层能够阻止Na向衬底方向扩散,同时也阻止衬底中杂质向铜铟镓硒光吸收层扩散,实现Na的精准控制,另外,阻挡层也阻止了在沉积过程中硒元素向金属导电层的扩散,避免了硒和金属导电层之间的反应,确保金属导电层在铜铟镓硒光吸收层生成过程中的稳定性。
IPC分类: