一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极及其制备方法
摘要:
本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极,包括由下至上依次设置的衬底、金属导电层、阻挡层、Na合金层与外保护导电层;所述阻挡层为过渡金属氮化物或氮氧化物;所述Na合金层由Na与另一种合金元素构成,Na合金层中的Na含量为2~10%摩尔比;Na合金层厚度为20~50nm;采用磁控溅射在衬底上依次沉积各个结构层即完成制备;Na合金层作为Na扩散源,为铜铟镓硒光吸收层提供晶体生长需要的Na,阻挡层能够阻止Na向衬底方向扩散,同时也阻止衬底中杂质向铜铟镓硒光吸收层扩散,实现Na的精准控制,另外,阻挡层也阻止了在沉积过程中硒元素向金属导电层的扩散,避免了硒和金属导电层之间的反应,确保金属导电层在铜铟镓硒光吸收层生成过程中的稳定性。
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