Invention Grant
- Patent Title: 混合热静电卡盘
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Application No.: CN201680021719.0Application Date: 2016-04-05
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Publication No.: CN107466423BPublication Date: 2019-03-26
- Inventor: 摩根·D·艾文斯 , 杰森·M·夏勒 , 阿拉·莫瑞迪亚 , D·杰弗里·里斯查尔 , 葛列格里·D·斯罗森
- Applicant: 瓦里安半导体设备公司
- Applicant Address: 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮递区号:01930)
- Assignee: 瓦里安半导体设备公司
- Current Assignee: 瓦里安半导体设备公司
- Current Assignee Address: 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮递区号:01930)
- Agency: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- Agent 杨文娟; 臧建明
- Priority: 14/688,000 2015.04.16 US
- International Application: PCT/US2016/025998 2016.04.05
- International Announcement: WO2016/168008 EN 2016.10.20
- Date entered country: 2017-10-13
- Main IPC: H01L21/683
- IPC: H01L21/683
Abstract:
揭示一种具有改善的温度均匀性的静电卡盘。静电卡盘包含沿着环圈安装的LED阵列，以便照亮工件的外边缘。LED阵列中的LED可发射在易于由工件吸收的波长下的光，波长例如在0.4μm与1.0μm之间。使用由经加热的静电卡盘提供的传导性加热来加热工件的中心部分。工件的外部部分由来自LED阵列的光能加热。LED阵列可安置于静电卡盘的基底上，或可安置于单独的环上。可修改静电卡盘的上部介电层的直径以容纳LED阵列。
Public/Granted literature
- CN107466423A 混合热静电卡钳 Public/Granted day:2017-12-12
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IPC分类:
