发明公开
CN107505566A 半导体气敏元件的测试方法
无效 - 驳回
- 专利标题： 半导体气敏元件的测试方法
- 专利标题（英）： Semiconductor gas sensitive component test method
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申请号： CN201710889544.1申请日： 2015-11-13
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公开(公告)号： CN107505566A公开(公告)日： 2017-12-22
- 发明人: 孙炎辉 , 杜海英 , 王述刚
- 申请人： 大连民族大学
- 申请人地址： 辽宁省大连市开发区辽河西路18号
- 专利权人： 大连民族大学
- 当前专利权人： 大连民族大学
- 当前专利权人地址： 辽宁省大连市开发区辽河西路18号
- 代理机构： 大连智高专利事务所
- 代理商 刘斌
- 主分类号： G01R31/28
- IPC分类号： G01R31/28 ; G01N27/12
摘要：
本分案申请公开了一种半导体气敏元件的测试方法，属于元件测试领域，用于解决现有半导体气敏元件测试方法不完善的问题，技术要点是：具有：半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。效果是：使得对于半导体气敏元件的测试环境、测试精度提供有力保障。