覆膜形成用组合物以及使用其的覆膜形成方法
摘要:
本发明提供一种可形成气体阻隔性能优异的覆膜的覆膜形成用组合物和覆膜形成方法。一种覆膜形成用组合物,其特征在于,其包含利用曝光与聚硅氮烷进行反应的特定的硅化合物、聚硅氮烷、以及有机溶剂;一种覆膜形成方法,其包含如下的工序:将该组合物涂布于基板,进行曝光。
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