一种自由曲面检测方法及系统
摘要:
本发明公开了一种自由曲面检测方法,包括:采用三坐标测量设备对包括待测反射球面、投影屏和CCD相机在内的逆向哈特曼检验光路的结构位置参数S进行测量标定;根据测量标定的结构位置参数S,确定待测反射球面的面形误差数据W0;根据测量标定的结构位置参数S和面形误差数据W0,采用泽尼克拟合确定待测球面的面形偏差优化目标;根据确定的面形偏差优化目标,确定初始测量标定的结构位置参数S的各项偏差,并根据所述各项偏差确定待测反射面的实际面形误差ΔW。采用本发明,减小了自由曲面的面形测量误差。
公开/授权文献
0/0