发明公开
- 专利标题: 一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法
- 专利标题(英): Digital optical fiber combiner and method for acquiring dynamic masks by combined optical fiber bundles
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申请号: CN201711026372.1申请日: 2017-10-26
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公开(公告)号: CN107561718A公开(公告)日: 2018-01-09
- 发明人: 杨彪 , 周金运 , 雷亮
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市大学城外环西路100号
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市大学城外环西路100号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 罗满
- 主分类号: G02B27/10
- IPC分类号: G02B27/10 ; G03F7/00
摘要:
本发明实施例公开了一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束,光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成;光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关,连接小室的数量为外包光纤总数的一半,每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端,且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝;封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请不仅可动态获得掩膜图案,还可提高光刻的分辨率。
公开/授权文献
- CN107561718B 一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法 公开/授权日:2024-01-23