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公开(公告)号：CN118851463A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410900647.3
申请日：2024-07-05
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开一种纳米微泡水净化器，包括：过滤池，过滤池内安装有过滤组件，过滤池的排水口上安装有输水组件；净化池，净化池中心位置固定连接有安装筒；分层机构，分层机构包括设置在净化池上方的支撑板，支撑板的底面固定连接有四组支撑柱，四组支撑柱分别与四组污水净化区间对应设置，支撑柱上滑动连接有分层组件；清水池，清水管上安装有清水泵；微纳米气泡发生机构，微纳米气泡发生机构的输出端分别穿过净化池侧壁与四组污水净化区间连通；其中，微纳米气泡发生机构的输出端、清水管伸入污水净化区间的一端均位于分层组件的下方。本发明通过分层组件实现上层杂质与下清液之间的分离，降低了清水回收的难度。
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公开(公告)号：CN116067846A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211619970.0
申请日：2022-12-15
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开一种测试好氧颗粒污泥机械强度的方法，包括以下步骤：采用激光粒度分析仪在不同转速下剪切好氧颗粒污泥样品，通过Dv10/50/90随作用时间变化图去除偏差较大的点；绘制在等间隔作用时间下的粒径分布变化图；利用软件分析并提取峰面积等的变化率或变化量△S信息，绘制出以作用时间为横坐标，或△S为纵坐标的散点图，拟合曲线，通过曲线量化表征其机械强度。其中，峰面积变化率(或变化量)越小，说明好氧颗粒污泥的机械强度越好。本发明可实现简便、精确的好氧颗粒污泥机械强度的量化表征及其标准化测试，形成标准化的数据体系，有利于不同反应器培养形成的好氧颗粒污泥机械强度的比较，为进一步提高反应器的稳定运行提供有益参考。
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公开(公告)号：CN107577117A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201711014026.1
申请日：2017-10-26
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明实施例公开了一种无掩膜光学光刻系统，包括照明光学子系统、空间光调制子系统及投影光学子系统；照明光学子系统用于出射能量分布均匀、与空间光调制子系统的光轴平行的光束；空间光调制子系统包括数字光纤合束器和与其相连的控制器；数字光纤合束器为由多束直径为微米级别的外包光纤，按照预设排列方式排列且呈对称分布在两侧的光纤合束、多个阵列分布的连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关构成；投影光学子系统包括投影透镜组和基板，用于将掩膜图形先分割后按Z字形路线进行拼接，并成像在基板。本申请使用数字光纤合束器作为动态掩膜产生器件，可实现实时、高效率和低成本的图形转移，提高了图形成像质量，增强了曝光量。
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公开(公告)号：CN106842829A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710257013.0
申请日：2017-04-19
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70091
摘要： 本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片，相位图形片包括同一圆内的多个相邻夹角相等且圆心角相等的极边扇形，极边扇形被多个同心圆分割为多个间距成等差级数的曲边照明极块，入射光束经过反射镜反射到相位图形片后偏离主光轴产生一个倾角后，透射过掩膜板的图形的零级和一级衍射光经过投影透镜在晶圆片的光刻胶上形成干涉图案。通过将相位图形片的极边扇形分割为多个曲边照明极块，增加了照明极的数量，获得具有环形和极边照明的双重特征，增强了光刻分辨率，提高了焦深。
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公开(公告)号：CN118565426A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410815314.0
申请日：2024-06-24
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明适用于岩土工程监测技术领域，提供了一种岩土工程边坡变形监测装置，包括由至少两个监测装置分布在坡面上，相互连接后形成可触发的监测阵列，其中任意一个所述监测装置均包括：装配板和可拆卸安装在所述装配板底部的入土锥；装配块，固定安装在所述装配板的顶部，整体为矩形结构，两侧均开设有榫槽。本方案提供的岩土工程边坡变形监测装置采用模块化设计，每个监测装置都是独立的模块，可以单独安装和配置，大大提高了安装的灵活性和便捷性；具有可扩展性强，通过连接多个监测装置形成监测阵列，可以实现对整个边坡的全面监测，并根据需要灵活扩展监测范围，多个设备的安装位置可自由调配。
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公开(公告)号：CN106842830B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201710257554.3
申请日：2017-04-19
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置，包括光源、竖直设在硅片侧面且与硅片垂直的定标板，以及设在光源和定标板之间且用于将光源产生的光线聚焦在定标板上的镜组，还包括用于探测定标板上光线焦点位置的探测器，以及与探测器连接且用于处理探测信号的控制器；利用具有较高精度的焦点探测方法，通过焦点检测硅片侧面的定标位置，将方便硅片的安放，减少因光刻胶吸收检测光产生的影响，并能够对硅片光刻焦面位置进行实时检测和校准，简单方便且精度较高。本发明还公开了一种与上述检测装置相适应的检测方法。
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公开(公告)号：CN107561718A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201711026372.1
申请日：2017-10-26
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明实施例公开了一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成；光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端，且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝；封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请不仅可动态获得掩膜图案，还可提高光刻的分辨率。
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公开(公告)号：CN107561718B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201711026372.1
申请日：2017-10-26
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明实施例公开了一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成；光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端，且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝；封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请不仅可动态获得掩膜图案，还可提高光刻的分辨率。
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公开(公告)号：CN118724260A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410925815.4
申请日：2024-07-11
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： C02F3/12 , C02F3/30 , C02F3/34 , C02F101/30
摘要： 本发明属于环保技术领域，公开了一种基于调控F/M强化连续流好氧颗粒污泥‑膜生物反应器生物除磷的方法，包括以下步骤：S1.根据进入所述系统的有机物含量与污泥总量之比，计算实际F/M值；S2.根据所述系统的实际F/M值与最佳F/M值之差，计算实际F/M值的偏移量(ΔF/M)；S3.根据ΔF/M将所述系统的实际每日排泥速率调控至设计每日排泥速率，从而将实际F/M值调控至最佳F/M值。其中，ΔF/M＞0一般应降低实际每日排泥速率，而ΔF/M＜0一般应提高实际每日排泥速率。本发明实现了原位强化系统的生物除磷性能，具有操作简便、系统影响小，投入成本低等优势，且适用于水质波动幅度较大的真实城市生活污水处理。
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公开(公告)号：CN116067846B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202211619970.0
申请日：2022-12-15
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开一种测试好氧颗粒污泥机械强度的方法，包括以下步骤：采用激光粒度分析仪在不同转速下剪切好氧颗粒污泥样品，通过Dv10/50/90随作用时间变化图去除偏差较大的点；绘制在等间隔作用时间下的粒径分布变化图；利用软件分析并提取峰面积等的变化率或变化量△S信息，绘制出以作用时间为横坐标，或△S为纵坐标的散点图，拟合曲线，通过曲线量化表征其机械强度。其中，峰面积变化率(或变化量)越小，说明好氧颗粒污泥的机械强度越好。本发明可实现简便、精确的好氧颗粒污泥机械强度的量化表征及其标准化测试，形成标准化的数据体系，有利于不同反应器培养形成的好氧颗粒污泥机械强度的比较，为进一步提高反应器的稳定运行提供有益参考。
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