一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件；对所述第一端面进行第一机械处理；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。