一种无掩膜光学光刻系统
摘要:
本发明实施例公开了一种无掩膜光学光刻系统,包括照明光学子系统、空间光调制子系统及投影光学子系统;照明光学子系统用于出射能量分布均匀、与空间光调制子系统的光轴平行的光束;空间光调制子系统包括数字光纤合束器和与其相连的控制器;数字光纤合束器为由多束直径为微米级别的外包光纤,按照预设排列方式排列且呈对称分布在两侧的光纤合束、多个阵列分布的连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关构成;投影光学子系统包括投影透镜组和基板,用于将掩膜图形先分割后按Z字形路线进行拼接,并成像在基板。本申请使用数字光纤合束器作为动态掩膜产生器件,可实现实时、高效率和低成本的图形转移,提高了图形成像质量,增强了曝光量。
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