发明公开
- 专利标题: 一种选择性铜腐蚀液及应用
- 专利标题(英): Selective copper corrosive liquid and application
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申请号: CN201710825462.0申请日: 2017-09-14
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公开(公告)号: CN107604360A公开(公告)日: 2018-01-19
- 发明人: 李森虎 , 殷福华 , 徐辉 , 赵文虎 , 顾玲燕
- 申请人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
- 专利权人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
- 当前专利权人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
- 代理机构: 北京方向标知识产权代理事务所
- 代理商 张春合
- 主分类号: C23F1/18
- IPC分类号: C23F1/18
摘要:
本发明公开了一种选择性铜腐蚀液,按重量百分比计包含:1~20%的氧化剂、0.001~5%的过氧化氢稳定剂、0.01~10%的无机酸、1~4%的可溶性有机酸二价铜盐、0.01~8%的螯合剂和/或缓蚀剂、0.001~3%的表面活性剂和余量水,氧化剂的主要组成为过氧化氢。在腐蚀液中同时加入无机酸和可溶性有机酸二价铜盐,加快腐蚀液溶出铜的预反应,有助于实现均匀蚀刻,得到可控的电极形状。本发明还公开了一种选择性铜腐蚀液在半导晶片上腐蚀铜或铜化合物层的应用。
公开/授权文献
- CN107604360B 一种选择性铜腐蚀液及应用 公开/授权日:2019-10-15
IPC分类: