一种选择性铜腐蚀液及应用
摘要:
本发明公开了一种选择性铜腐蚀液,按重量百分比计包含:1~20%的氧化剂、0.001~5%的过氧化氢稳定剂、0.01~10%的无机酸、1~4%的可溶性有机酸二价铜盐、0.01~8%的螯合剂和/或缓蚀剂、0.001~3%的表面活性剂和余量水,氧化剂的主要组成为过氧化氢。在腐蚀液中同时加入无机酸和可溶性有机酸二价铜盐,加快腐蚀液溶出铜的预反应,有助于实现均匀蚀刻,得到可控的电极形状。本发明还公开了一种选择性铜腐蚀液在半导晶片上腐蚀铜或铜化合物层的应用。
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