发明公开
- 专利标题: 一种膜厚检测装置
- 专利标题(英): Film thickness detector
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申请号: CN201711013570.4申请日: 2017-10-26
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公开(公告)号: CN107607051A公开(公告)日: 2018-01-19
- 发明人: 叶志杰 , 彭锐 , 贾文斌 , 王欣欣 , 窦义坤 , 宋丽芳
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 郭润湘
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06
摘要:
本发明公开了一种膜厚检测装置,包括:激光光源、光学镜组、图像接收器;其中,光学镜组,用于接收激光光源出射的激光,生成第一光束和至少两次透过待测薄膜的第二光束,使第一光束与第二光束发生干涉;图像接收器,用于接收干涉光并确定干涉信息,根据干涉信息确定薄膜的厚度。本发明实施例提供的膜厚检测装置采用激光多次透过待测薄膜后的激光干涉信息来测量薄膜的厚度,光线的光程变化可感知微小的折射率以及距离变化,因此利用光程变化确定薄膜厚度的灵敏度相较现有技术的方式有较大提高。
公开/授权文献
- CN107607051B 一种膜厚检测装置 公开/授权日:2019-07-30