一种膜厚检测装置
摘要:
本发明公开了一种膜厚检测装置,包括:激光光源、光学镜组、图像接收器;其中,光学镜组,用于接收激光光源出射的激光,生成第一光束和至少两次透过待测薄膜的第二光束,使第一光束与第二光束发生干涉;图像接收器,用于接收干涉光并确定干涉信息,根据干涉信息确定薄膜的厚度。本发明实施例提供的膜厚检测装置采用激光多次透过待测薄膜后的激光干涉信息来测量薄膜的厚度,光线的光程变化可感知微小的折射率以及距离变化,因此利用光程变化确定薄膜厚度的灵敏度相较现有技术的方式有较大提高。
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