发明公开
CN107686972A 一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method for co-doped diamond-like carbon film
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申请号: CN201710800552.4申请日: 2017-09-07
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公开(公告)号: CN107686972A公开(公告)日: 2018-02-13
- 发明人: 彭寿 , 沈洪雪 , 金克武 , 王天齐 , 甘治平 , 李刚 , 姚婷婷 , 杨勇
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 尹杰
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/35 ; C23C14/06
摘要:
本发明涉及一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法,包括以下步骤:选用0.3-0.5mm的超白玻璃为衬底材料;对衬底材料进行超声波清洗;设置W靶材和C靶材,W靶材和C靶材相交是设置,且两靶材的交点位于样品架处;把清洗后的超白玻璃衬底放置于样品架上;使用Ar离子轰击W、C两靶材,达到清洗和活化靶材的作用;把清洗后的衬底材料放入真空度抽至3.0×10-4—5.0×10-4Pa的溅射腔室内,通入氩气进行预溅射起辉,同时再通入氮气。本发明的优点:W靶材和C靶材独立控制,改变两靶的工艺参数以及氮气量,能够制备出各种高性能的薄膜,其制备工序简单,实验易控制,可根据实际需要制备不同硬度和透过率的薄膜。
IPC分类: