一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法
摘要:
本发明涉及一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法,包括以下步骤:选用0.3-0.5mm的超白玻璃为衬底材料;对衬底材料进行超声波清洗;设置W靶材和C靶材,W靶材和C靶材相交是设置,且两靶材的交点位于样品架处;把清洗后的超白玻璃衬底放置于样品架上;使用Ar离子轰击W、C两靶材,达到清洗和活化靶材的作用;把清洗后的衬底材料放入真空度抽至3.0×10-4—5.0×10-4Pa的溅射腔室内,通入氩气进行预溅射起辉,同时再通入氮气。本发明的优点:W靶材和C靶材独立控制,改变两靶的工艺参数以及氮气量,能够制备出各种高性能的薄膜,其制备工序简单,实验易控制,可根据实际需要制备不同硬度和透过率的薄膜。
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