一种W掺杂ZrO2薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110983274A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911353361.3

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08

    摘要: 本发明公开一种W掺杂ZrO2薄膜的制备方法,包括以下步骤:a、清洗衬底,去除衬底表面的污垢;b、采用纯度为99.99%的金属钨与金属锆作为溅射靶材,两个溅射靶材的靶材基座均与水平面呈45º夹角、且靶材基座的延长线交汇于一点;c、将衬底置于磁控溅射腔体内两个靶材基座的交汇点;d、启动磁控溅射设备在衬底表面溅射W掺杂ZrO2薄膜;采用两块独立的靶材,每个靶材可以各自独立控制,不需要单独制作钨和锆的混合靶材,只需要改变靶材在溅射时的工艺参数,即可以改变W的掺杂量,制备灵活方便。

    一种微缺陷诱导的电致变色智能玻璃复合膜组及其制备方法

    公开(公告)号:CN110941127A

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201911352684.0

    申请日:2019-12-25

    摘要: 本发明涉及一种微缺陷诱导的电致变色智能玻璃复合膜组及其制备方法,其特征在于:在FTO或ITO导电玻璃基底的FTO或ITO面上依次设有WO3层、电解质层、NiO层、电极层;其中WO3层和NiO层内均嵌有SiO2纳米微球;电解质层为LixGayO或者LixNbyO层;电极层为ITO层。本发明有益效果:通过在变色层中内嵌SiO2纳米粒子作为微缺陷,微缺陷纳米球与变色层会形成界面缺陷,促进电致变色过程中离子在微缺陷界面处的诱导聚集,达到提升薄膜变色效率的目的,包括着色时间的加快,光调制幅度的增大、提高变色均匀性等;采用一种常温溅射制备ITO电极层的方法,本方法通过常温溅射制备ITO薄膜在保证了薄膜性能的同时,避免了加热对膜系变色层、电解质层带来的可能的影响。

    一种提高N掺杂ZnO薄膜荧光特性的方法

    公开(公告)号:CN108754443A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810560533.3

    申请日:2018-06-04

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08 C23C14/58

    摘要: 本发明公开一种提高N掺杂ZnO薄膜荧光特性的方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,将衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内,以陶瓷ZnO靶为基材,通入Ar和N2在衬底表面进行N掺杂ZnO薄膜的制备;S3、将得到的N掺杂ZnO薄膜置于退火炉中,以N2为保护气氛,在1000℃的温度下退火3小时;S4、持续向退火炉通入N2,使N掺杂ZnO薄膜随炉冷却至室温;高温退火可以提高薄膜的结晶质量;在N2的保护气氛中退火可以使薄膜中的N离子或ZnO中的错位粒子迁移到合适的位置,另一方面由于N2的作用,也可进一步提高薄膜中的N含量,得到荧光特性增强的ZnO薄膜。

    一种离子束沉积制备CN薄膜的方法

    公开(公告)号:CN108642465A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810560534.8

    申请日:2018-06-04

    IPC分类号: C23C14/46 C23C14/48 C23C14/06

    摘要: 本发明公开一种离子束沉积制备CN薄膜的方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污与杂质;S2、采用连通的离子束沉积设备与离子注入机,离子束沉积设备采用C靶,将衬底置于离子束沉积设备的真空腔室内,以氩离子轰击C靶;同时,开启离子注入机,注入N离子,在衬底表面得到CN薄膜;C靶的工艺参数通过离子束沉积设备进行独立控制,N离子源的提供由离子注入机完成,整个过程中离子束沉积设备与离子注入机都是单独工作,不相互干扰;C与N的简单的进行反应得到CN薄膜,无其它离子存在,工艺简单,可控性较强。

    一种Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108396298A

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201810560606.9

    申请日:2018-06-04

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08

    摘要: 本发明公开一种Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶为溅射靶材,ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶在水平面以三角形分布,且ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶分别与水平面形成60º夹角,所述衬底位于ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶的延长线交点处;S3、向磁控溅射设备的真空腔室内通入溅射气体氩气,ZnO靶的功率400W、Al2O3靶的功率150W、MnO2靶的功率150W,Ar总通入量为100sccm,工作气压2.0Pa,溅射1.5小时,得到Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜;改变靶材各自的溅射参数可进行任意掺杂元素、任意掺杂量的掺杂,且所制备薄膜掺杂都非常均匀。