- 专利标题: 一种空间相位调制型激光干涉测量仪器及方法
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申请号: CN201710830257.3申请日: 2017-09-15
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公开(公告)号: CN107702734B公开(公告)日: 2020-06-16
- 发明人: 陈珂 , 周新磊 , 于清旭 , 郭珉 , 王泽霖
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 温福雪; 侯明远
- 主分类号: G01D5/26
- IPC分类号: G01D5/26 ; G01B9/02 ; G01B11/06 ; G01N21/45
摘要:
本发明提供了一种空间相位调制型激光干涉测量仪器及方法,属于光电检测技术领域。该仪器包括激光光源、平行反光板、图像传感器、信号采集处理器和显示器,使用一个双面平行反光板作为空间相位调制器,空间发散激光斜入射到由低反射双面平行反光板,上下表面反射光在图像传感器表面形成由双光束干涉产生的相位调制分布。本发明的光学部分仅包括激光光源、双面平行反光板和图像传感器,相比于其他干涉仪,具有结构简单和成本低等显著优势。本发明为位移、激光波长、平板厚度和折射率的高精度测量提供了一种极具竞争力的技术方案。
公开/授权文献
- CN107702734A 一种空间相位调制型激光干涉测量仪器及方法 公开/授权日:2018-02-16