薄膜电路及其制备方法
摘要:
本发明涉及薄膜电路及其制备方法,该制备方法包括:提供一介质基片;在所述介质基片上形成复合金属膜层;通过电镀加厚薄膜电路图形所在区域的位于复合金属膜层最上层的膜层,形成电镀膜层图形,所述电镀膜层图形的上表面面积大于下表面面积;在所述电镀膜层图形的侧面形成光刻胶遮挡图案,通过光刻形成薄膜电路图形。该制备方法可避免对薄膜电路图形所在区域的膜层侧面进行腐蚀,提高最终形成的薄膜电路的性能。
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