发明公开
- 专利标题: 薄膜电路及其制备方法
- 专利标题(英): Thin film circuit and preparation method of the same
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申请号: CN201710943322.3申请日: 2017-10-11
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公开(公告)号: CN107706091A公开(公告)日: 2018-02-16
- 发明人: 林亚丽 , 田华 , 周刚 , 孟佳
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京博思佳知识产权代理有限公司
- 代理商 林祥
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H05K1/02
摘要:
本发明涉及薄膜电路及其制备方法,该制备方法包括:提供一介质基片;在所述介质基片上形成复合金属膜层;通过电镀加厚薄膜电路图形所在区域的位于复合金属膜层最上层的膜层,形成电镀膜层图形,所述电镀膜层图形的上表面面积大于下表面面积;在所述电镀膜层图形的侧面形成光刻胶遮挡图案,通过光刻形成薄膜电路图形。该制备方法可避免对薄膜电路图形所在区域的膜层侧面进行腐蚀,提高最终形成的薄膜电路的性能。
公开/授权文献
- CN107706091B 薄膜电路及其制备方法 公开/授权日:2020-08-11
IPC分类: