多功能超快激光微细加工系统及其方法
摘要:
本发明涉及多功能超快激光微细加工系统及方法,超快激光器输出端设倍频模块,倍频模块输出端有三个波段出光口,第一波段输出光路上设第一光路传输模组,第二波段输出光路上设第二光路传输模组,其输出的光束经合束镜合为一束,合束镜输出端依次设第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置,第三波段输出光路上设第三光路传输模组,第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上,第三光路传输模组输出端依次设第四光路切换装置、第五切换装置和第六反射镜,其中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置的中心对齐,其垂直射出端光路均设光阑,光阑输出端设加工模块。实现数种组合方式的加工模式。
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