发明公开
- 专利标题: 多功能超快激光微细加工系统及其方法
- 专利标题(英): Multifunctional ultrafast laser micromachining system and method
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申请号: CN201711215878.7申请日: 2017-11-28
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公开(公告)号: CN107717215A公开(公告)日: 2018-02-23
- 发明人: 冯爱新 , 杨海华 , 张津超 , 薛伟 , 赵莹 , 程好 , 陈欢 , 贾天代 , 刘勇
- 申请人: 温州大学
- 申请人地址: 浙江省温州市瓯海经济开发区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
- 专利权人: 温州大学
- 当前专利权人: 温州大学
- 当前专利权人地址: 浙江省温州市瓯海经济开发区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
- 代理机构: 江苏圣典律师事务所
- 代理商 王玉国
- 主分类号: B23K26/06
- IPC分类号: B23K26/06 ; B23K26/0622 ; B23K26/064 ; B23K26/38
摘要:
本发明涉及多功能超快激光微细加工系统及方法,超快激光器输出端设倍频模块,倍频模块输出端有三个波段出光口,第一波段输出光路上设第一光路传输模组,第二波段输出光路上设第二光路传输模组,其输出的光束经合束镜合为一束,合束镜输出端依次设第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置,第三波段输出光路上设第三光路传输模组,第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上,第三光路传输模组输出端依次设第四光路切换装置、第五切换装置和第六反射镜,其中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置的中心对齐,其垂直射出端光路均设光阑,光阑输出端设加工模块。实现数种组合方式的加工模式。
公开/授权文献
- CN107717215B 多功能超快激光微细加工系统及其方法 公开/授权日:2023-07-21
IPC分类: