膜层检测方法、装置及膜层检测系统
Abstract:
本发明公开了一种膜层检测方法、装置及膜层检测系统,属于面板制造领域。该膜层检测方法用于检测设置在基板上的至少一层膜层,该膜层检测方法包括:采用光源从基板设置有膜层的一侧进行照射;从基板设置有膜层的一侧,采集膜层图像,该膜层图像包括被照射的至少一层膜层的图像;根据膜层图像的亮度分布,确定至少一层膜层中最上层膜层的类型。本发明通过用光源从基板设置有膜层的一侧照射待处理的基板,在图像采集组件采集膜层图像之后,基于膜层图像的亮度分布,可以确定该至少一层膜层中最上层膜层的类型,从而避免了由于错误膜层导致面板报废或者设备宕机。达到了降低产能损失,提高生产效率的效果。
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