发明授权
- 专利标题: 一种磁控溅射装置及其磁场分布调节方法
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申请号: CN201711299250.X申请日: 2017-12-08
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公开(公告)号: CN107779836B公开(公告)日: 2019-12-03
- 发明人: 胡迎宾 , 袁广才 , 赵策 , 丁远奎 , 李伟 , 邵继峰
- 申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/54
摘要:
本发明提供一种磁控溅射装置及其磁场分布调节方法,涉及磁控溅射领域,可有效改善平面靶材斑纹不良、提高靶材利用率和成膜均匀性。该磁控溅射装置包括:溅射腔室和设置在所述溅射腔室内的平面靶材;设置在所述平面靶材远离被溅射一侧的至少三组电磁线圈,每组所述电磁线圈的一端朝向所述平面靶材、另一端远离所述平面靶材;驱动单元,配置成控制每组所述电磁线圈的开关和磁性方向;与每组所述电磁线圈一一对应的连接线,配置成电性连接每组所述电磁线圈与所述驱动单元。
公开/授权文献
- CN107779836A 一种磁控溅射装置及其磁场分布调节方法 公开/授权日:2018-03-09
IPC分类: