一种磁控溅射装置及其磁场分布调节方法
摘要:
本发明提供一种磁控溅射装置及其磁场分布调节方法,涉及磁控溅射领域,可有效改善平面靶材斑纹不良、提高靶材利用率和成膜均匀性。该磁控溅射装置包括:溅射腔室和设置在所述溅射腔室内的平面靶材;设置在所述平面靶材远离被溅射一侧的至少三组电磁线圈,每组所述电磁线圈的一端朝向所述平面靶材、另一端远离所述平面靶材;驱动单元,配置成控制每组所述电磁线圈的开关和磁性方向;与每组所述电磁线圈一一对应的连接线,配置成电性连接每组所述电磁线圈与所述驱动单元。
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