芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺
Abstract:
本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成;所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成;所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4,导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9;基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台,极大地降低了旋转调制式陀螺的体积,提高了集成度;相比原有的该类陀螺,体积减小了大约2个数量级,形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。
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