Invention Publication
- Patent Title: 芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺
- Patent Title (English): Chip-level rotating-modulation MEMS (micro-electromechanical systems) silicon micromechanical gyro
-
Application No.: CN201710961356.5Application Date: 2017-10-17
-
Publication No.: CN107796383APublication Date: 2018-03-13
- Inventor: 苑伟政 , 申强 , 杨瑾 , 周金秋 , 谢建兵 , 常洪龙
- Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院
- Applicant Address: 陕西省西安市友谊西路127号
- Assignee: 西北工业大学,西北工业大学深圳研究院
- Current Assignee: 西北工业大学
- Current Assignee Address: 710072 陕西省西安市友谊西路127号
- Agency: 西北工业大学专利中心
- Agent 吕湘连
- Main IPC: G01C19/5656
- IPC: G01C19/5656

Abstract:
本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成;所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成;所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4,导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9;基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台,极大地降低了旋转调制式陀螺的体积,提高了集成度;相比原有的该类陀螺,体积减小了大约2个数量级,形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。
Public/Granted literature
- CN107796383B 芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺 Public/Granted day:2021-03-23
Information query