自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法
摘要:
本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板、光纤和白屏,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,使得紫外光束经光纤后形成细丝衍射,并在白屏上出现条纹,通过CCD摄像机采集白屏上的条纹是否对称,并将CCD摄像机采集到的条纹信息送入计算机,若不对称,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在白屏上获得的条纹中轴线上下对称。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。
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