发明授权
- 专利标题: LED晶元及其制备方法和LED灯
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申请号: CN201710928614.X申请日: 2017-10-09
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公开(公告)号: CN107808916B公开(公告)日: 2019-12-13
- 发明人: 邹国营 , 高利辉 , 于晓航
- 申请人: 浙江帅康电气股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市余姚市低塘街道城东北路888号
- 专利权人: 浙江帅康电气股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江帅康电气股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市余姚市低塘街道城东北路888号
- 代理机构: 北京金之桥知识产权代理有限公司
- 代理商 林建军; 李红
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/00 ; H01L21/02
摘要:
本发明提供了一种LED晶元及其制备方法和LED灯。本发明提供的制备方法包括如下步骤:(1)在蓝宝石衬底上生长AlN复合基底;(2)在AlN复合基底上生长一层Al0.5Ga0.5N量子结构有源层;(3)在Al0.5Ga0.5N量子结构有源层上外延一层很薄的AlN缓冲层作为空穴阻挡层;(4)在AlN缓冲层上生长多层量子阱结构;(5)在量子阱结构上生长P型电子阻挡层;(6)在P型电子阻挡层上生长Mg‑Siδ共掺超晶格;(7)在Mg‑Siδ共掺超晶格上生长一层P+‑GaN欧姆电极盖层。其有益效果是:本发明提供的含高Al组分的AlGaN外延基片的LED晶元的制备方法,通过在蓝宝石衬底上进行AIN复合基底的生长,以有效释放生长过程中的应力,获得高质量的AlGaN外延基片。
公开/授权文献
- CN107808916A LED晶元及其制备方法和LED灯 公开/授权日:2018-03-16
IPC分类: