LED晶元及其制备方法和LED灯
摘要:
本发明提供了一种LED晶元及其制备方法和LED灯。本发明提供的制备方法包括如下步骤:(1)在蓝宝石衬底上生长AlN复合基底;(2)在AlN复合基底上生长一层Al0.5Ga0.5N量子结构有源层;(3)在Al0.5Ga0.5N量子结构有源层上外延一层很薄的AlN缓冲层作为空穴阻挡层;(4)在AlN缓冲层上生长多层量子阱结构;(5)在量子阱结构上生长P型电子阻挡层;(6)在P型电子阻挡层上生长Mg‑Siδ共掺超晶格;(7)在Mg‑Siδ共掺超晶格上生长一层P+‑GaN欧姆电极盖层。其有益效果是:本发明提供的含高Al组分的AlGaN外延基片的LED晶元的制备方法,通过在蓝宝石衬底上进行AIN复合基底的生长,以有效释放生长过程中的应力,获得高质量的AlGaN外延基片。
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