发明公开
- 专利标题: 金属污染防止剂、金属污染防止膜、金属污染防止方法及制品清洗方法
- 专利标题(英): Metal-contamination preventive agent, metal-contamination preventive membrane, metal-contamination preventive method, and product-cleansing method
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申请号: CN201680041101.0申请日: 2016-09-12
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公开(公告)号: CN107835792A公开(公告)日: 2018-03-23
- 发明人: 森田博志 , 加藤俊正 , 星重行
- 申请人: 栗田工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 栗田工业株式会社
- 当前专利权人: 栗田工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 张永康
- 优先权: 2015-193799 2015.09.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/076823 2016.09.12
- 国际公布: WO2017/056947 JA 2017.04.06
- 进入国家日期: 2018-01-12
- 主分类号: C02F1/42
- IPC分类号: C02F1/42 ; B01J39/04 ; B01J41/04 ; B01J47/12 ; C02F1/44 ; C02F1/62 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供一种金属污染防止剂,其含有分子量10万以上的聚苯乙烯磺酸等具有离子交换基的聚合物,其可减少产品清洗用的超纯水中微量金属的附着性,抑制清洗对象的金属污染。该具有离子交换基的聚合物是以离子交换反应吸附超纯水中的微量金属而抑制其附着于制品。本发明还提供一种用添加有该金属污染防止剂的超纯水清洗制品的制品清洗方法。优选为使添加有金属污染防止剂的超纯水流过分离膜组件,用膜透过水清洗制品。