- 专利标题： 感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置
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申请号： CN201780002139.1申请日： 2017-03-28
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公开(公告)号： CN107850844B公开(公告)日： 2021-09-07
- 发明人: 赖末友裕 , 井上泰平 , 井户義人 , 中村光孝 , 汤之口智惠 , 笹野大辅 , 佐佐木隆弘
- 申请人： 旭化成株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 旭化成株式会社
- 当前专利权人： 旭化成株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权： 2016-073576 20160331 JP 2016-084497 20160420 JP 2016-085535 20160421 JP 2016-086482 20160422 JP 2016-094177 20160509 JP
- 国际申请： PCT/JP2017/012743 2017.03.28
- 国际公布： WO2017/170600 JA 2017.10.05
- 进入国家日期： 2017-12-21
- 主分类号： G03F7/027
- IPC分类号： G03F7/027 ; G03F7/004 ; G03F7/031
摘要：
包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。
公开/授权文献
- CN107850844A 感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 公开/授权日：2018-03-27
IPC分类:
