公开(公告)号：CN113820920B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202111074739.3

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C09D179/08 ,  C08L77/00

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN107850844A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201780002139.1

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031

Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN113820920A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202111074739.3

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C09D179/08 ,  C08L77/00

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN107850844B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201780002139.1

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031

Abstract: 包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN115185157A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210744394.6

申请日：2017-03-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 赖末友裕 ,  井上泰平 ,  井户義人 ,  中村光孝 ,  汤之口智惠 ,  笹野大辅 ,  佐佐木隆弘

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C08K5/33 ,  C08K5/375 ,  C08L77/00 ,  C09D179/08

Abstract: 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。