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涂层电气组件
Abstract:
一种电气组件,所述电气组件在其至少一个表面上具有多层保形涂层,其中,所述多层涂层的每层通过前体混合物的等离子体沉积获得,所述前体混合物包括:(a)一种或多种有机硅化合物;(b)可选地,O2、N2O、NO2、H2、NH3、N2、SiF4和/或六氟丙烯(HFP);和(c)可选地,He、Ar和/或Kr。所得到的等离子体沉积材料的化学性质可以用通式SiOxHyCzFaNb来描述。通过调整x、y、z、a和b的值来调整保形涂层的性质。
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