氮化硅陶瓷浆料及其制备方法和制备氮化硅流延膜的应用
摘要:
本发明提供了一种氮化硅陶瓷浆料及其制备方法和制备氮化硅流延膜的应用,将氮化硅粉体、烧结助剂、分散剂和溶剂混合,进行第一次球磨,再加入粘接剂和增塑剂,进行第二次球磨,经真空脱泡后,得到浆料,所述硅氮化硅粉、烧结助剂、分散剂、溶剂、粘结剂和増塑剂之间的质量比为100:(5~15):(49~67):(2~3.5):(10~20):(10~40);将浆料进行流延成型,干燥,得到平整、均一、致密且柔顺,利于后期成型加工及烧结的Si3N4素坯。本发明方法得到的氮化硅陶瓷浆料均匀,黏度低,固含量较高,适合流延成型,并且制备工艺简单,易于实现产业化。
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