发明授权
- 专利标题: 一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜
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申请号: CN201711072372.5申请日: 2017-11-03
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公开(公告)号: CN107860742B公开(公告)日: 2020-04-07
- 发明人: 王化斌 , 李早霞 , 耿国帅 , 杨忠波 , 代广斌
- 申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 申请人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 代理机构: 北京同恒源知识产权代理有限公司
- 代理商 赵荣之
- 主分类号: G01N21/3586
- IPC分类号: G01N21/3586 ; G01N21/01
摘要:
本发明涉及一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜装置,属于太赫兹技术领域。该装置包括飞秒脉冲激光器、光纤耦合分束器、第一光纤、第二光纤、太赫兹发射和接收模块、延时线模块、可见光源、可见光显微镜、三维平移样品台、可调电压源、电流放大器、锁相放大器和控制电脑。太赫兹发射和接收模块包含太赫兹发射天线、太赫兹接收天线和激光耦合聚焦元件。该装置结构简单且精度高,克服了传统远场成像技术中分辨率较低的缺陷,该装置可获得微米级空间分辨率的太赫兹探测光谱与扫描图像。
公开/授权文献
- CN107860742A 一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜 公开/授权日:2018-03-30
IPC分类: