一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置

    公开(公告)号:CN109917407A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201910224214.X

    申请日:2019-03-22

    IPC分类号: G01S17/08

    摘要: 本发明涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置,属于太赫兹显微成像领域。该方法基于近场探针测距装置实现,该测距装置包括激光器,可见光源,可见光显微镜,光电导微探针,样品,样品位移台,电机控制盒以及计算机。所述方法具体包括:S1:将样品放置在样品位移台上;S2:可见光照射在光电导微探针针尖上,通过可见光显微镜结合CCD探测器实时获取针尖附近的场景,并传输到计算机进行图像处理及特征提取,得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S;S3:通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式,计算得到光电导微探针-样品的实际距离d。本发明用于准确测量光电导微探针与样品间距和自动调节其间距。

    一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜

    公开(公告)号:CN107860742A

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201711072372.5

    申请日:2017-11-03

    IPC分类号: G01N21/3586 G01N21/01

    摘要: 本发明涉及一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜装置,属于太赫兹技术领域。该装置包括飞秒脉冲激光器、光纤耦合分束器、第一光纤、第二光纤、太赫兹发射和接收模块、延时线模块、可见光源、可见光显微镜、三维平移样品台、可调电压源、电流放大器、锁相放大器和控制电脑。太赫兹发射和接收模块包含太赫兹发射天线、太赫兹接收天线和激光耦合聚焦元件。该装置结构简单且精度高,克服了传统远场成像技术中分辨率较低的缺陷,该装置可获得微米级空间分辨率的太赫兹探测光谱与扫描图像。

    一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法

    公开(公告)号:CN110146898A

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201910585803.0

    申请日:2019-07-01

    IPC分类号: G01S17/08

    摘要: 本发明涉及一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法,属于信息技术领域。该方法基于探针测距装置实现,该测距装置包括激光器,可见光源,显微镜,探针,样品,样品位移台,运动控制系统及分析处理系统。所述方法具体包括:S1:将样品放置在样品位移台上;S2:可见光照射在探针针尖上,通过显微镜结合探测器实时获取针尖附近的场景,并传输到分析处理系统进行图像处理及特征提取,得到探针-样品在图像尺度上的间距S;S3:通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式,计算得到探针-样品的实际距离d。本发明通过拍摄图像和分析图像,准确得到探针与样品间距并通过控制系统调节其间距,最终实现探针运动轨迹监测与控制。

    一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜

    公开(公告)号:CN107860742B

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201711072372.5

    申请日:2017-11-03

    IPC分类号: G01N21/3586 G01N21/01

    摘要: 本发明涉及一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜装置,属于太赫兹技术领域。该装置包括飞秒脉冲激光器、光纤耦合分束器、第一光纤、第二光纤、太赫兹发射和接收模块、延时线模块、可见光源、可见光显微镜、三维平移样品台、可调电压源、电流放大器、锁相放大器和控制电脑。太赫兹发射和接收模块包含太赫兹发射天线、太赫兹接收天线和激光耦合聚焦元件。该装置结构简单且精度高,克服了传统远场成像技术中分辨率较低的缺陷,该装置可获得微米级空间分辨率的太赫兹探测光谱与扫描图像。

    一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法

    公开(公告)号:CN110146898B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN201910585803.0

    申请日:2019-07-01

    IPC分类号: G01S17/08

    摘要: 本发明涉及一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法,属于信息技术领域。该方法基于探针测距装置实现,该测距装置包括激光器,可见光源,显微镜,探针,样品,样品位移台,运动控制系统及分析处理系统。所述方法具体包括:S1:将样品放置在样品位移台上;S2:可见光照射在探针针尖上,通过显微镜结合探测器实时获取针尖附近的场景,并传输到分析处理系统进行图像处理及特征提取,得到探针‑样品在图像尺度上的间距S;S3:通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式,计算得到探针‑样品的实际距离d。本发明通过拍摄图像和分析图像,准确得到探针与样品间距并通过控制系统调节其间距,最终实现探针运动轨迹监测与控制。