滑动构件及其制造方法
摘要:
提供在润滑油中的环境下能够确保比以往更低的摩擦系数的滑动构件及其制造方法。滑动构件(10)的非晶质碳被膜(12)满足以下关系:在将通过单键配位了3个碳原子的氮原子的个数记为A、将通过单键和双键配位了2个碳原子的氮原子的个数记为B时,通过对非晶质碳被膜(12)进行X射线光电子能谱分析所得到的非晶质碳被膜(12)的A/B值为10以上且18以下。在滑动构件(10)的制造方法中,通过朝向基材(11)的表面照射氮离子束,并且对碳靶T照射电子束E,从而一边使碳靶T的一部分蒸镀于基材(11)的表面,一边形成非晶质碳被膜(12)。对碳靶T照射的电子束E的输出功率为30W以上且50W以下。
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