发明授权
- 专利标题: 滑动构件及其制造方法
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申请号: CN201710874029.6申请日: 2017-09-25
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公开(公告)号: CN107868936B公开(公告)日: 2019-12-13
- 发明人: 真锅和干 , 梅原德次 , 上坂裕之 , 市村和之
- 申请人: 丰田自动车株式会社 , 国立大学法人名古屋大学
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 丰田自动车株式会社,国立大学法人名古屋大学
- 当前专利权人: 丰田自动车株式会社,国立大学法人名古屋大学
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 刘航; 段承恩
- 优先权: 2016-190212 2016.09.28 JP
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/30 ; C23C14/48
摘要:
提供在润滑油中的环境下能够确保比以往更低的摩擦系数的滑动构件及其制造方法。滑动构件(10)的非晶质碳被膜(12)满足以下关系:在将通过单键配位了3个碳原子的氮原子的个数记为A、将通过单键和双键配位了2个碳原子的氮原子的个数记为B时,通过对非晶质碳被膜(12)进行X射线光电子能谱分析所得到的非晶质碳被膜(12)的A/B值为10以上且18以下。在滑动构件(10)的制造方法中,通过朝向基材(11)的表面照射氮离子束,并且对碳靶T照射电子束E,从而一边使碳靶T的一部分蒸镀于基材(11)的表面,一边形成非晶质碳被膜(12)。对碳靶T照射的电子束E的输出功率为30W以上且50W以下。
公开/授权文献
- CN107868936A 滑动构件及其制造方法 公开/授权日:2018-04-03