• 专利标题: 一种纳米银焊膏连接裸铜DBC的功率模块制作方法
  • 专利标题(英): Power module manufacturing method for connecting nano-silver soldering paste with bare DBC
  • 申请号: CN201710954334.6
    申请日: 2017-10-13
  • 公开(公告)号: CN107871675A
    公开(公告)日: 2018-04-03
  • 发明人: 梅云辉刘文闫海东李欣陆国权
  • 申请人: 天津大学
  • 申请人地址: 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
  • 专利权人: 天津大学
  • 当前专利权人: 天津大学
  • 当前专利权人地址: 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
  • 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
  • 代理商 王丽
  • 主分类号: H01L21/60
  • IPC分类号: H01L21/60
一种纳米银焊膏连接裸铜DBC的功率模块制作方法
摘要:
本发明涉及一种纳米银焊膏连接裸铜DBC的功率模块制作方法,包括清洗工艺、焊膏印刷工艺、贴片工艺和烧结工艺;清洗工艺采用超声波振荡实现对裸铜DBC的清洗,焊膏印刷工艺采用钢网印刷实现纳米银焊膏的印刷,纳米银印刷两次;贴片工艺采用贴片机贴片;烧结工艺采用真空回流炉烧结,得到甲酸无氧气氛,并控制烧结温度和升温速率。既能实现纳米银焊膏和裸铜DBC的致密化连接,又能防止裸铜DBC氧化。本发明无需特制设备,处理工序方便易行,工艺简单,适用于通过纳米银焊膏实现功率芯片与裸铜衬底或敷铜基板间的连接,保证了后续引线键合的可靠性,提高了功率模块的可靠性,极大的促进了纳米银焊膏在功率半导体模块封装中的应用。
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