一种制备二硫化钼靶材的方法
摘要:
本发明公开了一种制备二硫化钼靶材的方法,该方法包括以下步骤:一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理;二、将真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行球磨处理;三、将球磨处理后的二硫化钼粉末压制成二硫化钼坯料;四、将二硫化钼坯料装入包套中,抽真空焊封后进行热等静压处理,除去包套后得到二硫化钼靶材粗品;五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,最终得到二硫化钼靶材。本发明依次对二硫化钼粉末进行真空低温热处理和球磨,提高了二硫化钼粉末的质量纯度和可压性,然后采用压制与热等静压相结合的方法,提高了二硫化钼靶材的致密性和质量纯度,降低了热等静压的成型温度和时间,同时扩大了原料的适用范围。
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