发明公开
- 专利标题: 一种制备二硫化钼靶材的方法
- 专利标题(英): Method for preparing molybdenum disulfide target material
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申请号: CN201711140436.0申请日: 2017-11-16
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公开(公告)号: CN107916404A公开(公告)日: 2018-04-17
- 发明人: 崔玉青 , 席莎 , 武洲 , 安耿 , 朱琦 , 李晶 , 王娜
- 申请人: 金堆城钼业股份有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市高新技术产业开发区锦业一路88号
- 专利权人: 金堆城钼业股份有限公司
- 当前专利权人: 金堆城钼业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新技术产业开发区锦业一路88号
- 代理机构: 西安创知专利事务所
- 代理商 谭文琰
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了一种制备二硫化钼靶材的方法,该方法包括以下步骤:一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理;二、将真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行球磨处理;三、将球磨处理后的二硫化钼粉末压制成二硫化钼坯料;四、将二硫化钼坯料装入包套中,抽真空焊封后进行热等静压处理,除去包套后得到二硫化钼靶材粗品;五、将二硫化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,最终得到二硫化钼靶材。本发明依次对二硫化钼粉末进行真空低温热处理和球磨,提高了二硫化钼粉末的质量纯度和可压性,然后采用压制与热等静压相结合的方法,提高了二硫化钼靶材的致密性和质量纯度,降低了热等静压的成型温度和时间,同时扩大了原料的适用范围。
公开/授权文献
- CN107916404B 一种制备二硫化钼靶材的方法 公开/授权日:2019-07-12