固体摄像器件、电子设备以及固体摄像器件的制造方法
摘要:
本技术涉及:能够防止雪崩光电二极管的光接收灵敏度降低的固体摄像器件;电子设备;以及固体摄像器件的制造方法。这个固体摄像器件设置有:雪崩光电二极管,所述雪崩光电二极管包括第一导电类型的第一区域、第二导电类型的第二区域和雪崩区域,所述第二导电类型与所述第一导电类型不同,所述雪崩区域夹在所述第一区域与所述第二区域之间,且所述第一区域、所述第二区域和所述雪崩区域沿半导体基板的厚度方向延伸;以及膜,所述膜被形成在所述半导体基板的至少一侧上,且所述膜包括金属氧化物膜、金属氮化物膜、或金属氧化物膜和金属氮化物膜的混合晶体系膜。例如,本技术可以被应用到CMOS图像传感器。
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