- 专利标题: 固体摄像器件、电子设备以及固体摄像器件的制造方法
- 专利标题(英): Solid-state imaging element, electronic device and method for manufacturing solid-state imaging element
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申请号: CN201680045598.3申请日: 2016-09-05
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公开(公告)号: CN107924929A公开(公告)日: 2018-04-17
- 发明人: 井上晋 , 寄门雄飞 , 户田淳
- 申请人: 索尼半导体解决方案公司
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 索尼半导体解决方案公司
- 当前专利权人: 索尼半导体解决方案公司
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 瓮芳; 陈桂香
- 优先权: 2015-184538 2015.09.17 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/075936 2016.09.05
- 国际公布: WO2017/047422 JA 2017.03.23
- 进入国家日期: 2018-02-02
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L31/10 ; H01L31/107 ; H04N5/369
摘要:
本技术涉及:能够防止雪崩光电二极管的光接收灵敏度降低的固体摄像器件;电子设备;以及固体摄像器件的制造方法。这个固体摄像器件设置有:雪崩光电二极管,所述雪崩光电二极管包括第一导电类型的第一区域、第二导电类型的第二区域和雪崩区域,所述第二导电类型与所述第一导电类型不同,所述雪崩区域夹在所述第一区域与所述第二区域之间,且所述第一区域、所述第二区域和所述雪崩区域沿半导体基板的厚度方向延伸;以及膜,所述膜被形成在所述半导体基板的至少一侧上,且所述膜包括金属氧化物膜、金属氮化物膜、或金属氧化物膜和金属氮化物膜的混合晶体系膜。例如,本技术可以被应用到CMOS图像传感器。
公开/授权文献
- CN107924929B 固体摄像器件、电子设备以及固体摄像器件的制造方法 公开/授权日:2022-10-18
IPC分类: