发明授权
- 专利标题: 一种高纯铝旋转靶材的制造方法
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申请号: CN201711187569.3申请日: 2017-11-24
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公开(公告)号: CN107953084B公开(公告)日: 2019-08-13
- 发明人: 周纪平 , 文宏福
- 申请人: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
- 申请人地址: 广东省韶关市武江区沐溪工业园阳山片区内
- 专利权人: 韶关市欧莱高新材料有限公司,东莞市欧莱溅射靶材有限公司
- 当前专利权人: 广东欧莱高新材料股份有限公司,东莞市欧莱溅射靶材有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省韶关市武江区沐溪工业园阳山片区内
- 代理机构: 广州骏思知识产权代理有限公司
- 代理商 吴静芝
- 主分类号: B23P15/00
- IPC分类号: B23P15/00
摘要:
本发明涉及一种高纯铝旋转靶材的制造方法,包括步骤:选取高纯铝圆锭,对其进行热穿孔挤压处理,得到高纯铝管坯;然后进行矫直、退火处理;选取铝合金为靶材端头材料,对其进行表面硬质氧化处理,得到铝合金端头;将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接,得到高纯铝旋转靶材。通过本发明制得的高纯铝旋转靶材,其显微组织内部的裂纹、气孔、疏松、夹杂、分层等缺陷大大较少,显微组织细小均匀,晶粒度尺寸不大于100微米;其通过氦质谱测漏仪测量的泄漏率数值≤5×10‑10Pa·m3/s;其长度、宽度和厚度方向的尺寸公差以及整体平面度形位公差低至0.05mm,表面粗糙度小于Ra 0.4μm,加工精度满足用户要求。
公开/授权文献
- CN107953084A 一种高纯铝旋转靶材的制造方法 公开/授权日:2018-04-24