一种高纯铝旋转靶材的制造方法
摘要:
本发明涉及一种高纯铝旋转靶材的制造方法,包括步骤:选取高纯铝圆锭,对其进行热穿孔挤压处理,得到高纯铝管坯;然后进行矫直、退火处理;选取铝合金为靶材端头材料,对其进行表面硬质氧化处理,得到铝合金端头;将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接,得到高纯铝旋转靶材。通过本发明制得的高纯铝旋转靶材,其显微组织内部的裂纹、气孔、疏松、夹杂、分层等缺陷大大较少,显微组织细小均匀,晶粒度尺寸不大于100微米;其通过氦质谱测漏仪测量的泄漏率数值≤5×10‑10Pa·m3/s;其长度、宽度和厚度方向的尺寸公差以及整体平面度形位公差低至0.05mm,表面粗糙度小于Ra 0.4μm,加工精度满足用户要求。
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