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公开(公告)号：CN111451942A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010462799.1
申请日：2020-05-27
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种平面靶材的自动喷砂设备及自动喷砂方法，喷砂装置包括中部喷砂单元和侧部喷砂单元，侧部喷砂单元设置有侧部喷砂枪，侧部喷砂枪的枪口朝向靶材的侧部，中部喷砂单元设置有中部喷砂枪，中部喷砂枪的枪口朝向靶材的板面，至少中部喷砂枪为摆动喷枪，中部喷砂枪的摆动方向与运送装置移动的前进方向垂直，本发明公开了一种平面靶材的自动喷砂方法，本发明的自动喷砂设备和自动喷砂方法，能有效提高喷砂效率，提高喷砂良品率。
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公开(公告)号：CN109940066B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201910203684.8
申请日：2019-03-18
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯铜旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铜合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铜旋转靶转动，通过校直测量装置测量铜合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铜合金端头进行加热，铜合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铜旋转靶冷却至室温，对高纯铜旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。
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公开(公告)号：CN110483033A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910773128.4
申请日：2019-08-21
申请人： 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/622 , C04B35/626 , C23C14/35
摘要： 本发明涉及一种低密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、回收ITO废靶，并对所述ITO废靶进行预处理，获得ITO废靶粉末；S2、制备氢氧化铟浆料，根据配比，将一定量的所述氢氧化铟浆料与所述ITO废靶粉末混合、烘干后获得新配比的ITO粉末；S3、将所述ITO粉末压制成型获得坯体，将所述坯体烧结后获得所述低密度靶材。相对于现有技术，本发明的低密度ITO靶材通过添加氢氧化铟浆料改变ITO废靶中的铟、锡配比，利用了氢氧化铟浆料的类似胶体的性质，其能够充分与原ITO粉末混合，并充当粘接剂的角色，氢氧化铟脱水形成氧化铟的过程中不会使坯体收缩，保证成型后坯体的体积密度的稳定，克服了使用氧化铟作为改变配比的添加剂时引成型起坯体收缩的技术缺陷。
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公开(公告)号：CN108941584A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201811042186.1
申请日：2018-09-07
申请人： 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
CPC分类号： B22F9/04 , B22F3/04 , B22F3/1007 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F5/106 , B22F2003/248 , B22F2009/041 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , C22C27/04 , B22F2201/11 , B22F2201/013 , B22F2201/20
摘要： 本发明涉及一种长钼管溅射靶材的制备方法，其包括以下步骤：S1压制钼管坯：将混匀后的钼粉装入冷等静压模具的管形空腔中，在150‑200MPa下压制钼粉成管状，然后脱去冷等静压模具得到钼管坯，对钼管坯端头及外圆进行修整；S2烧结钼管坯：将钼管坯置于氢气环境中于1800‑2000℃烧结4‑10h，并修整烧结后的钼管坯；S3拼接长钼管：将若干根步骤S2所得的钼管坯纵向依次叠加在热等静压模具的管形空腔内，然后检查管形空腔的气密性，筛选出气密性合格的进行热等静压处理得到一根长钼管，所述长钼管包覆于热等静压模具中；S4校直长钼管：对包覆有长钼管的热等静压模具进行热校直处理，然后脱去模具得到长钼管溅射靶材。
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公开(公告)号：CN111451314A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010251321.4
申请日：2020-04-01
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯铜旋转靶的制备方法，包括1)坯锭预处理步骤、2)精密制管步骤、3)靶材复合结构加工与焊接和4)靶材稳定化处理步骤。通过本发明的高纯铜旋转靶的制备方法，得到的晶粒组织均匀，晶粒细化，旋转靶结构稳定性强。
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公开(公告)号：CN110523791A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910742563.0
申请日：2019-08-13
申请人： 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝铜合金管件的制造方法，包括以下步骤：S1、将铝铜合金锭坯进行加热、保温处理；S2、在真空条件下，采用分流模挤压机将步骤S1所得铝铜合金锭进行挤压处理，挤压温度为360～400℃，制得铝铜合金管坯件；S3、将步骤S2所得的铝铜合金管坯件进行固溶、冷却和时效处理，制得铝铜合金管件成品。与现有技术相比，采用本发明所述铝铜合金管件的制造方法，最终得到铝铜合金管件内部组织均匀、致密、晶粒细小，无裂纹缺陷，且具有优良的综合力学性能，大大提高了成品合格率；铝铜合金管件的纯度≥99.99％，平均晶粒为150～200μm，具有较高的生产质量指标，满足产品要求。
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公开(公告)号：CN107953084B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201711187569.3
申请日：2017-11-24
申请人： 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种高纯铝旋转靶材的制造方法，包括步骤：选取高纯铝圆锭，对其进行热穿孔挤压处理，得到高纯铝管坯；然后进行矫直、退火处理；选取铝合金为靶材端头材料，对其进行表面硬质氧化处理，得到铝合金端头；将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接，得到高纯铝旋转靶材。通过本发明制得的高纯铝旋转靶材，其显微组织内部的裂纹、气孔、疏松、夹杂、分层等缺陷大大较少，显微组织细小均匀，晶粒度尺寸不大于100微米；其通过氦质谱测漏仪测量的泄漏率数值≤5×10‑10Pa·m3/s；其长度、宽度和厚度方向的尺寸公差以及整体平面度形位公差低至0.05mm，表面粗糙度小于Ra 0.4μm，加工精度满足用户要求。
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公开(公告)号：CN112452946A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011089333.8
申请日：2020-10-13
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。
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公开(公告)号：CN111534800A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010363526.1
申请日：2020-04-30
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。
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公开(公告)号：CN109954766B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201910204328.8
申请日：2019-03-18
申请人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铝合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铝旋转靶转动，通过校直测量装置测量铝合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铝合金端头进行加热，铝合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铝旋转靶冷却至室温，对高纯铝旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。
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