- 专利标题: 一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法
- 专利标题(英): Axisymmetric silicon micromechanical gyroscope sensitive structure and manufacturing method thereof
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申请号: CN201711173188.X申请日: 2017-11-22
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公开(公告)号: CN108007448A公开(公告)日: 2018-05-08
- 发明人: 朱新建 , 马格林 , 张旭 , 虢晓双
- 申请人: 湖南天羿领航科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市经济技术开发区映霞路29号
- 专利权人: 湖南天羿领航科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南天羿领航科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市经济技术开发区映霞路29号
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 谭武艺
- 主分类号: G01C19/5656
- IPC分类号: G01C19/5656 ; G01C19/5663
摘要:
本发明公开了一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法,敏感结构包括两侧设有键合锚点的弹性框架,弹性框架上设有轴对称的通孔区域且其对称轴线处设有“H”型支撑梁,“H”型支撑梁的两侧各设有两个轴对称的两个敏感质量块,且敏感质量块布置于通孔区域内且一侧通过联接梁与“H”型支撑梁相连;制造方法包括采用干湿结合在单个硅片上制备敏感结构。本发明的轴对称硅微机械陀螺敏感结构实现了结构的完全轴对称分布,降低结构损耗,减小应力集中,降低运动耦合,提高结构的机械灵敏度;本发明制造方法具有加工工艺简单、加工质量高、结构鲁棒性好、稳定性好、应用范围广等优点。
公开/授权文献
- CN108007448B 一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法 公开/授权日:2018-10-26