Invention Grant
- Patent Title: 区分碳纳米管类型的方法
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Application No.: CN201610967644.7Application Date: 2016-10-31
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Publication No.: CN108020573BPublication Date: 2019-12-17
- Inventor: 李东琦 , 魏洋 , 姜开利 , 范守善
- Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- Assignee: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Current Assignee: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- Main IPC: G01N23/22
- IPC: G01N23/22
Abstract:
一种区分碳纳米管类型的方法,其包括以下步骤:提供一导电基底,该导电基底上设置一层绝缘层;在所述绝缘层上设置一碳纳米管结构;将碳纳米管结构放置在扫描电镜下,调整扫描电镜的加速电压为5~20千伏,驻留时间为6~20微秒,放大倍数为1万~10万倍,采用扫描电镜对所述碳纳米管结构拍摄照片;获得碳纳米管结构的照片,碳纳米管结构中的碳纳米管分布在照片衬底上,其中,比衬底颜色浅的碳纳米管为金属型碳纳米管,比衬底颜色深的碳纳米管为半导体型碳纳米管。
Public/Granted literature
- CN108020573A 区分碳纳米管类型的方法 Public/Granted day:2018-05-11
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