发明授权
- 专利标题: 一种共晶键合方法和半导体器件
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申请号: CN201611050071.8申请日: 2016-11-24
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公开(公告)号: CN108100986B公开(公告)日: 2020-01-31
- 发明人: 邱鹏 , 顾佳烨 , 游家杰
- 申请人: 上海新微技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区城北路235号3号楼
- 专利权人: 上海新微技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 上海新微技术研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区城北路235号3号楼
- 代理机构: 北京知元同创知识产权代理事务所
- 代理商 刘元霞
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
本申请提供一种共晶键合方法和半导体器件,该方法包括:在第一基片的表面形成第一键合材料图形;在第二基片的表面形成第二键合材料图形;在所述第一基片的表面和/或所述第二基片的表面形成围绕所述第一键合材料图形和/或所述第二键合材料图形的突起的环状部件,所述环状部件与所述第一键合材料图形和/或所述第二键合材料图形的外周之间形成容纳空间;将所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形对齐,并在预定压力和预定温度下按压所述第一基片和所述第二基片,以使所述第一基片和所述第二基片通过所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形发生共晶键合。根据本申请,能阻挡溢流物。
公开/授权文献
- CN108100986A 一种共晶键合方法和半导体器件 公开/授权日:2018-06-01