一种共晶键合方法和半导体器件
摘要:
本申请提供一种共晶键合方法和半导体器件,该方法包括:在第一基片的表面形成第一键合材料图形;在第二基片的表面形成第二键合材料图形;在所述第一基片的表面和/或所述第二基片的表面形成围绕所述第一键合材料图形和/或所述第二键合材料图形的突起的环状部件,所述环状部件与所述第一键合材料图形和/或所述第二键合材料图形的外周之间形成容纳空间;将所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形对齐,并在预定压力和预定温度下按压所述第一基片和所述第二基片,以使所述第一基片和所述第二基片通过所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形发生共晶键合。根据本申请,能阻挡溢流物。
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