发明授权
- 专利标题: 一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法
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申请号: CN201711415985.4申请日: 2017-12-25
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公开(公告)号: CN108101533B公开(公告)日: 2020-10-30
- 发明人: 王星明 , 刘宇阳 , 彭程 , 储茂友 , 白雪
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研资源环境技术研究院(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 陈波
- 主分类号: C04B35/48
- IPC分类号: C04B35/48 ; C04B35/622 ; C04B35/50
摘要:
本发明属于陶瓷靶材制备技术领域,特别涉及一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法。该陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷靶材,Gd2Zr2O7陶瓷靶材,La2Ce2O7陶瓷靶材,La2O3+CeO2+Gd2O3、La2O3+CeO2+Ta2O5、La2O3+CeO2+ZrO2+Y2O3陶瓷靶材,通过机械混合、造粒、高温固相反应、冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理即可得到目标尺寸的陶瓷靶材;通过本发明提供的制备方法制备的陶瓷靶材纯度高达99.9%以上,能有效避免偏析、喷溅、开裂等问题,靶材微观结构组织均匀、强度高。
公开/授权文献
- CN108101533A 一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法 公开/授权日:2018-06-01
IPC分类: