一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法
摘要:
本发明属于陶瓷靶材制备技术领域,特别涉及一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法。该陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷靶材,Gd2Zr2O7陶瓷靶材,La2Ce2O7陶瓷靶材,La2O3+CeO2+Gd2O3、La2O3+CeO2+Ta2O5、La2O3+CeO2+ZrO2+Y2O3陶瓷靶材,通过机械混合、造粒、高温固相反应、冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理即可得到目标尺寸的陶瓷靶材;通过本发明提供的制备方法制备的陶瓷靶材纯度高达99.9%以上,能有效避免偏析、喷溅、开裂等问题,靶材微观结构组织均匀、强度高。
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