一种选择性抽气的溅射离子泵
摘要:
本发明是选择性抽气的溅射离子泵,包括离子源、磁控偏转控制器、捕集阱、电源;其中离子源、磁控偏转控制器、捕集阱串联构成通路;电源为系统供电,提供离子源高压和加速电场,并连通捕集阱使捕集阱接地。优点:可在线实时选择性地抽除指定气体,降低真空环境中该气体的含量;工作压强宽;操作简单,通过电源调节离子源加速电场强度即可控制去除气体的种类;清洁无污染,通过钛(铌)捕集阱溅射抽气,无油,高度清洁;无噪音无振动;相对于传统方法,受其他气体的干扰比较小。主要通过电磁场对不同荷质比的带电气体离子进行筛选抽除,可用于要求控制气体成分,需抽除指定(杂质)气体的场合,如开关管等。
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