发明授权
- 专利标题: 一种选择性抽气的溅射离子泵
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申请号: CN201711386949.X申请日: 2017-12-20
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公开(公告)号: CN108109898B公开(公告)日: 2020-02-21
- 发明人: 王浏杰 , 薛函迎 , 柴云川 , 郭卫斌
- 申请人: 南京华东电子真空材料有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市栖霞经济开发区九龙山路1号
- 专利权人: 南京华东电子真空材料有限公司
- 当前专利权人: 南京华东电子真空材料有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市栖霞经济开发区九龙山路1号
- 代理机构: 南京君陶专利商标代理有限公司
- 代理商 沈根水
- 主分类号: H01J41/12
- IPC分类号: H01J41/12
摘要:
本发明是选择性抽气的溅射离子泵,包括离子源、磁控偏转控制器、捕集阱、电源;其中离子源、磁控偏转控制器、捕集阱串联构成通路;电源为系统供电,提供离子源高压和加速电场,并连通捕集阱使捕集阱接地。优点:可在线实时选择性地抽除指定气体,降低真空环境中该气体的含量;工作压强宽;操作简单,通过电源调节离子源加速电场强度即可控制去除气体的种类;清洁无污染,通过钛(铌)捕集阱溅射抽气,无油,高度清洁;无噪音无振动;相对于传统方法,受其他气体的干扰比较小。主要通过电磁场对不同荷质比的带电气体离子进行筛选抽除,可用于要求控制气体成分,需抽除指定(杂质)气体的场合,如开关管等。
公开/授权文献
- CN108109898A 一种选择性抽气的溅射离子泵 公开/授权日:2018-06-01