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发明公开
CN108140529A 等离子体产生装置及使用空间分辨等离子体处理制造图案化器件的方法 有权

等离子体产生装置及使用空间分辨等离子体处理制造图案化器件的方法
摘要：
本发明涉及用于制造具有图案化层的器件的等离子体产生装置，其包括放置在等离子体反应器室中的第一电极组件(1)和第二电极组件(2)、用于在第一电极组件(1)和第二电极组件(2)之间产生电压差的电源(6)。根据本发明，第一电极组件(1)包括多个突起(11)和多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)，突起(11)和凹部(12、13、14、15、16、17、18)被形成尺寸并设置在距离所述基板(5)的表面(51)的相应距离(D1、D2)处，以产生选择性地位于所述第二电极组件(2)和所述多个凹部(12、13、14、15、16、17、18)之间或在所述第二电极组件(2)和所述多个突起(11)之间的多个空间上隔离的等离子体区(21、22)。
摘要（英）：

The invention concerns a plasma generating apparatus, for manufacturing devices having patterned layers, comprising a first electrode assembly (1) and a second electrode assembly (2) placed in a plasma reactor chamber, an electrical power supply (6) for generating a voltage difference between the first electrode assembly (1) and the second electrode assembly (2). According to the invention, the first electrode assembly (1) comprises a plurality of protrusions (11) and a plurality of recesses (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18), the protrusions (11) and recesses (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) being dimensioned and set at respective distances (D1, D2) from the surface (51) of the substrate (5) so as to generate a plurality of spatially isolated plasma zones (21, 22) located selectively either betweenthe second electrode assembly (2) and the plurality of recesses (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) or between the second electrode assembly (2) and the plurality of protrusions (11).

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