发明授权
- 专利标题： 用于底层的芳香族树脂
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申请号： CN201711169511.6申请日： 2017-11-21
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公开(公告)号： CN108148194B公开(公告)日： 2020-11-10
- 发明人: S·山田 , L·崔 , C·吉尔摩 , J·A·凯茨 , S·刘 , J·F·卡梅伦 , S·M·科莱
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈哲锋; 胡嘉倩
- 优先权： 62/429926 2016.12.05 US
- 主分类号： C08G65/40
- IPC分类号： C08G65/40 ; C08G65/48 ; C09D171/10 ; G03F7/09 ; G03F7/40 ; H01L21/02
摘要：
芳香族树脂聚合物和含有其的组合物在半导体制造方法中适用作底层。
公开/授权文献
- CN108148194A 用于底层的芳香族树脂 公开/授权日：2018-06-12
