本发明提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于工台上的基板，口金，口金用于在基板上涂布光阻，工台上还设置有光学检测件和与光学检测件电连接的控制件，口金在基板沿第一方向上涂布光阻时，光学检测件对光阻进行检测，并反馈检测信号至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比而确定光阻是否达标。本发明提供的一种光阻实时检测装置，通过设置光学检测件，并在口金涂布光阻时对光阻进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比，达到了对光阻实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。本发明还提供了一种光阻实时检测方法及一种光阻涂布设备。